無油真空泵具有結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。無油真空泵耐用性好，是抽真空，壓縮，兩用真空泵，是一種應用范圍非常廣泛獲得真空的基本設備。本產品與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護簡單，移動方便，不產生油煙，不污染環境，尤其在要求較高的實驗室使用較好。也是實驗室最常備的設備之一。

 

　　因此在選購無油真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到工作要求。其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能更好的滿足需要。最后看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會腐蝕泵，必須要用特殊的材質才能滿足需求。

 

　　無油真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

　　1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

　　4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。

 

　　結構特點：

　　無油直聯旋片真空泵，是一種旋片式單級真空泵。用來抽除密封容器中的氣體，以獲取真空的基本設備。

　　該泵可用于空調，制冷設備的修理，醫療儀器的抽吸裝置，印刷機械，真空包裝，真空吸塑，理化實驗及需要真空環境的小型裝置等各種真空作業用。還可以作為小型的油增壓泵、油擴散泵，分子泵等的前級泵使用。

　　該泵不適用于抽除對黑色金屬有腐蝕的，對泵油起化學反應的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高，有爆炸性的有毒氣體。更不能作為傳輸泵使用。